Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230030390 |
HGF-Programm | 16.05.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 1.Statusbericht des Arbeitsschwerpunktes Mikrotechnik im KfK, Karlsruhe, 13.Februar 1991 |