| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030599 |
| HGF-Programm | 16.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: IFF-Seminar, KFA Juelich, 4.April 1991 |