Startschichten fuer die Mikrogalvanofromung beim LIGA-Verfahren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030601 |
| HGF-Programm | 16.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Arbeitstreffen Mikroelektrochemie der Arbeitsgemeinschaft Elektrochemische Forschungsinstitution e.V., Duesseldorf, 4.Maerz 1991 |