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Startschichten fuer die Mikrogalvanofromung beim LIGA-Verfahren

Ruprecht, R.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030601
HGF-Programm 16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Arbeitstreffen Mikroelektrochemie der Arbeitsgemeinschaft Elektrochemische Forschungsinstitution e.V., Duesseldorf, 4.Maerz 1991
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