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H⁺-Lithographie in PMMA: eine Analyse

Brenner, K. H.; Frank, M.; Kufner, M.; Kufner, S.; Goettert, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030766
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Tagung der Deutschen Gesellschaft fuer Angewandte Optik, Oldenburg, 21.-25.Mai 1991
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