Interferometrische Vermessung von LIGA-Strukturen

Brenner, K. H.; Goettert, J.; Mueller, A.; Kufner, S.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230030767
HGF-Programm	16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Tagung der Deutschen Gesellschaft fuer Angewandte Optik, Oldenburg, 21.-25.Mai 1991