KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Mikrogalvanoformung zur Erzeugung von metallischen Mikrostrukturen innerhalb des LIGA-Verfahrens

Bacher, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230030769
HGF-Programm 16.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Forschungs-Institut fuer Edelmetall- und Metallchemie, Schwaebisch Gmuend, 24.Mai 1991
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page