Mikrogalvanoformung zur Erzeugung von metallischen Mikrostrukturen innerhalb des LIGA-Verfahrens
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230030769 |
| HGF-Programm | 16.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Forschungs-Institut fuer Edelmetall- und Metallchemie, Schwaebisch Gmuend, 24.Mai 1991 |