| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031055 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Braunschweig, 20.September 1991 Vortr.: Firma Hoechst AG, Frankfurt, 6.Februar 1992 |