Qualifizierung von mikromechanisch hergestellten IR-Filtern mit FTIR-Spektroskopie

Guber, A.

Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1991
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230031058
HGF-Programm	16.04.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	BRUKER FTIR-Benutzertreffen, Karlsruhe, 7.-8.November 1991

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