Qualifizierung von mikromechanisch hergestellten IR-Filtern mit FTIR-Spektroskopie
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031058 |
| HGF-Programm | 16.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | BRUKER FTIR-Benutzertreffen, Karlsruhe, 7.-8.November 1991 |