Anwendung der LIGA-Technik fuer Sensoren in Mikrosystemen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031226 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Seminar 'Technologietrends in der Sensorik und ihre industrielle Umsetzung', Duesseldorf, 3.-4.Dezember 1991 |