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Anwendung der LIGA-Technik fuer Sensoren in Mikrosystemen

Menz, W.; Bley, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230031226
HGF-Programm 16.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Seminar 'Technologietrends in der Sensorik und ihre industrielle Umsetzung', Duesseldorf, 3.-4.Dezember 1991
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