Small is beautiful. Developments in microfabrication and microsystems
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031535 |
| HGF-Programm | 16 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Retirement Memorial Seminar of Prof.Chikawa, Tsukuba National Cyclotron Facility, J, June 1, 1991 |