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Small is beautiful. Developments in microfabrication and microsystems

Klose, W.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1991
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230031535
HGF-Programm 16 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Retirement Memorial Seminar of Prof.Chikawa, Tsukuba National Cyclotron Facility, J, June 1, 1991
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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