Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1991 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230031619 |
HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micro System Technologies, Berlin, October 29 - November 1, 1991 |