LIGA, eine Schluesseltechnologie fuer die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031620 |
| HGF-Programm | 16.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Universitaet Bonn, 8.November 1991 |