Mikromechanische Sensoren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031621 |
| HGF-Programm | 16.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Sensorkolloquium, Bosch, Stuttgart, 3.Dezember 1991 |