Mikrostrukturtechnik am Beispiel des LIGA-Verfahrens
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1991 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031622 |
| HGF-Programm | 16.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Fachhochschule Muenster, 3.Dezember 1991 |