Clusterstrahlen als Mikrowerkzeug
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031788 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Max-Planck-Institut fuer Stroemungsforschung, Goettingen, 29.Januar 1992 |