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Large area soft X-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE

Rahn, S.; Kloidt, A.; Kleineberg, U.; Schmiedeskamp, B.; Kadel, K.; Schomburg, W.K.; Hormes, J.; Heinzmann, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230031789
HGF-Programm 41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Multilayers and Optics, San Diego, Calif., July 19-24, 1992
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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