KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Large area soft X-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE

Rahn, S.; Kloidt, A.; Kleineberg, U.; Schmiedeskamp, B.; Kadel, K.; Schomburg, W.K.; Hormes, J.; Heinzmann, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230031789
HGF-Programm 41.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Multilayers and Optics, San Diego, Calif., July 19-24, 1992
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page