Large area soft X-ray projection lithography using multilayer mirrors structured by RIE

Rahn, S.; Kloidt, A.; Kleineberg, U.; Schmiedeskamp, B.; Kadel, K.; Schomburg, W. K.; Hormes, J.; Heinzmann, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230031789
HGF-Programm	41.01.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Multilayers and Optics, San Diego, Calif., July 19-24, 1992