Anwendungspotential der LIGA-Technik fuer Sensoren
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230031799 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 6.Fachtagung (VDI/VDE) Sensoren - Technologie und Anwendung, Bad Nauheim, 16.-18.Maerz 1992 |