KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Anwendungspotential der LIGA-Technik fuer Sensoren

Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230031799
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk 6.Fachtagung (VDI/VDE) Sensoren - Technologie und Anwendung, Bad Nauheim, 16.-18.Maerz 1992
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page