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Anwendungspotential der LIGA-Technik fuer Sensoren

Menz, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230031799
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 6.Fachtagung (VDI/VDE) Sensoren - Technologie und Anwendung, Bad Nauheim, 16.-18.Maerz 1992
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