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Sputterdeposition von '123'-HTSL-Schichten von metallischen Legierungstargets

Ratzel, F.; Meyer, O.; Linker, G.; Geerk, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230031877
HGF-Programm 34.01.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Fruehjahrstagung des Arbeitskreises Festkoerperphysik bei der DPG, gemeinsame Tagung mit der Oesterreichischen Physikalischen Gesellschaft -Fachausschuss Festkoerperphysik-, Nederlandse Natuurkundige Vereniging -Dynamik und Statistische Physik-, Fachbereich Physik der Universitaet Regensburg, Duenne Schichten, Dynamik und Statistische Physik, Halbleiterphysik, Magnetismus, Metallphysik, Oberflaechenphysik, Tiefe Temperaturen, Vakuumphysik und -technik, Chemische Physik, Dielektrische Festkoerper, Mikrosonden, Regensburg, 16.-20.Maerz 1992 Verhandlungen der Deutschen Physikalischen Gesellschaft, R.6, Bd.27 (1992) TT-14.4
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