KIT | KIT-Bibliothek | Impressum

Cluster deposition and cluster erosion for microtooling

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032032
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CH, 27.Maerz 1992
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page