Cluster deposition and cluster erosion for microtooling
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230032032 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Ecole Polytechnique Federale de Lausanne, Lausanne, CH, 27.Maerz 1992 |