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Herstellung und Eigenschaften eines LIGA-Strahlteilers fuer Multimodefasern

Goettert, J.; Mohr, J.; Mueller, C.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230032033
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Workshop Integrierte Optik und Mikrooptik mit Polymeren, Mainz, 12.-13.Maerz 1992
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