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Herstellung und Eigenschaften der mit Hilfe der Roentgentiefenlithographie strukturierten Polymerwellenleiter

Mueller, C.; Goettert, J.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230032034
HGF-Programm 41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Workshop Integrierte Optik und Mikrooptik mit Polymeren, Mainz, 12.-13.Maerz 1992
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