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The LIGA process a tool for the fabrication of microstructures used in mechatronics

Mohr, J.; Bacher, W.; Bley, P.; Strohrmann, M.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032092
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk 1st Japanese-French Congress on Mechatronics, Besancon, F, October 20-22, 1992
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