The LIGA process a tool for the fabrication of microstructures used in mechatronics

Mohr, J.; Bacher, W.; Bley, P.; Strohrmann, M.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230032092
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	1st Japanese-French Congress on Mechatronics, Besancon, F, October 20-22, 1992