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Halogen exchange reactions of silicon tetrachloride with fluorine and fluorine containing substances

Guber, A.; Koehler, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032211
HGF-Programm 41.04.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 10th European Symp.on Fluorine Chemistry, Padova, I, September 20-25, 1992 Journal of Fluorine Chemistry, 58(1992) (Abstract)
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