Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230032212 |
HGF-Programm | 41.05.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | MEDTECH '92, Berlin, 10.-12.Juli 1992 |