Erste Ergebnisse zur Galvanoformung von LIGA-Mikrostrukturen aus Eisen-Nickel-Legierungen

Thommes, A.; Bacher, W.; Stark, W.; Goeller, K.; Liebscher, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230032213
HGF-Programm	41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Symp.Mikro-Elektrochemie, Friedrichsrode, 17.-19.Juni 1992