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Electrostatic micro motor made by the LIGA process

Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032306
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Universitaet Neuchatel, CH, 17.Juni 1992
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