Electrostatic micro motor made by the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230032306 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Universitaet Neuchatel, CH, 17.Juni 1992 |