Cluster deposition and cluster erosion with high intensity ionized cluster beams
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230032307 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 6th Internat.Symp.on Small Particles and Inorganic Clusters, Chicago, Ill., September 16-22, 1992 |