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Cluster deposition and cluster erosion with high intensity ionized cluster beams

Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032307
HGF-Programm 41.03.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 6th Internat.Symp.on Small Particles and Inorganic Clusters, Chicago, Ill., September 16-22, 1992
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