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ARXPS-analysis of TiC,SiC and TiC/SiC sputtered layers

Halbritter, J.; Fella, R.; Michel, H.J.; Schier, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032330
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 7.Arbeitstagung Angewandte Oberflaechenanalytik, Juelich, 22.-25.Juni 1992 Kurzfassungen der Vortraege
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