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Selective etching of metals within the framework of the LIGA-process for the fabrication of microstructures

Bacher, W.; Bley, P.; Mohr, J.; Ruprecht, R.; Schomburg, W.K.; Stark, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230032698
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Herbsttagung des Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Edinburgh, GB, 20.-22.September 1992
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