Selective etching of metals within the framework of the LIGA-process for the fabrication of microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230032698 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Herbsttagung des Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Edinburgh, GB, 20.-22.September 1992 |