Selective etching of metals within the framework of the LIGA-process for the fabrication of microstructures

Bacher, W.; Bley, P.; Mohr, J.; Ruprecht, R.; Schomburg, W. K.; Stark, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230032698
HGF-Programm	41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Herbsttagung des Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Edinburgh, GB, 20.-22.September 1992