Titanoxid als Startschichten in der Mikrogalvanik

Bacher, W.; Ruprecht, R.; Michaelis, A.; Schultze, J. W.; Thies, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1992
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230032702
HGF-Programm	41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	30.DGO-Jahrestagung, Wuerzburg, 16.-18.September 1992