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Titanoxid als Startschichten in der Mikrogalvanik

Bacher, W.; Ruprecht, R.; Michaelis, A.; Schultze, J.W.; Thies, A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230032702
HGF-Programm 41.02.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 30.DGO-Jahrestagung, Wuerzburg, 16.-18.September 1992
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