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Mit LIGA-Mikrostrukturen zu Mikrosystemen

Bley, P.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230032704
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Seminarvortrag, Universitaet Freiburg, 3.September 1992 Vortr.: MBB, Muenchen, 4.September 1992
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