Mit LIGA-Mikrostrukturen zu Mikrosystemen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230032704 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Seminarvortrag, Universitaet Freiburg, 3.September 1992 Vortr.: MBB, Muenchen, 4.September 1992 |