Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1992 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230032800 |
HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 9th Internat.Conf.on Ion Implantation Technology, Gainsville, Fla., September 21-24, 1992 |