Mit LIGA-Verfahren zu Mikrosystemen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230032829 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Max-Planck-Gesellschaft fuer extraterrestrische Physik, Garmisch-Partenkirchen, 6.Oktober 1992 |