Testing of elastomer sealed dust contaminated vacuum valves
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Hauptabteilung Ingenieurtechnik (HIT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033129 |
| HGF-Programm | 31.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 20. Annual IOP Physics Congress on Vacuum, Plasma and Surface Techniques, Brighton, GB, July 21 - 24, 1993 |