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Mechanische Mikrofertigung: Moeglichkeiten und Produkte

Plesch, D.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 230033226
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Workshop der GAS 'Kleinkuehler und thermische Stabilisierung', Karlsruhe, 11.November 1992
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