Mechanische Mikrofertigung: Moeglichkeiten und Produkte
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033226 |
| HGF-Programm | 41.04.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Workshop der GAS 'Kleinkuehler und thermische Stabilisierung', Karlsruhe, 11.November 1992 |