| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033403 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: KfK, 9.Januar 1992 |