The LIGA process for the fabrication of mechanical and optical microstructures
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1992 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033408 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Micromachine Center, Tokyo, J, 21.September 1992 |