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The LIGA process for the fabrication of mechanical and optical microstructures

Klose, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1992
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230033408
HGF-Programm 41.00.00; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Micromachine Center, Tokyo, J, 21.September 1992
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