Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230033445 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 1. Statusseminar Aufbau und Verbindungstechnik als Basistechnologie fuer elektrische und optische Mikrosysteme, Karlsruhe, 21.Januar 1993 |