Herstellung mikrooptischer Komponenten mit LIGA-Technik und deren Anwendung in der Nachrichtentechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033445 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 1. Statusseminar Aufbau und Verbindungstechnik als Basistechnologie fuer elektrische und optische Mikrosysteme, Karlsruhe, 21.Januar 1993 |