Investigation on the electroforming of LIGA-microstructures using specially designed microelectrodes

Leyendecker, K.; Bacher, W.; Stark, W.; Thommes, A.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230033446
HGF-Programm	41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	44th Meeting of the Internat.Society of Electrochemistry, Berlin, 5.-10.September 1993 Book of Abstracts