Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230033447 |
HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Internat.High-Tech Forum, Osaka, J, February 15-17, 1993 |