| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033447 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.High-Tech Forum, Osaka, J, February 15-17, 1993 |