Micropump fabricated with the LIGA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033451 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 6th IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Fort Lauderdale, Fla., February 7-10, 1993 Book of Abstracts |