Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230033451 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 6th IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Fort Lauderdale, Fla., February 7-10, 1993 Book of Abstracts |