Micromembranes for LIGA-structures

Schomburg, W. K.; Bley, P.; Koehler, B.; Liebig, V.; Menz, W.; Rapp, R.; Sarkar, M. R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230033452
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Micro System Technologies, St.Petersburg, GUS, June 22-23, 1993