The LIGA process - a tool for the fabrication of microstructures used in mechatronics
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033456 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 1st Japanese-French Congress on Mechatronics, Besancon, F, October 20-22, 1992 |