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The LIGA process - a tool for the fabrication of microstructures used in mechatronics

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230033456
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 1st Japanese-French Congress on Mechatronics, Besancon, F, October 20-22, 1992
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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