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Aktorentwicklung mit Hilfe der LIGA-Technik

Schomburg, W.K.; Mohr, J.; Rapp, R.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230033458
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk VDI/VDE-Vortragstagung Mikrosystemtechnik, Buesnau, 13.Januar 1993
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