Aktorentwicklung mit Hilfe der LIGA-Technik

Schomburg, W. K.; Mohr, J.; Rapp, R.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230033458
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	VDI/VDE-Vortragstagung Mikrosystemtechnik, Buesnau, 13.Januar 1993