Cluster deposition
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033459 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 9th Internat.Conf.on Thin Films (ICTF), Wien, A, September 6-10, 1993 |