Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230033459 |
HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 9th Internat.Conf.on Thin Films (ICTF), Wien, A, September 6-10, 1993 |