Abformung von LIGA-Mikrostrukturen auf Mikroelektronik

Michel, A.; Harmening, M.; Ruprecht, R.; Bacher, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230033460
HGF-Programm	41.01.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	3.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17.-18.Februar 1993