Mit dem LIGA-Verfahren hergestellte Mikromembranpumpe

Rapp, R.; Kadel, K.; Schomburg, W. K.; Stern, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230033461
HGF-Programm	41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	3.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17.-18.Februar 1993