Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1993 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 230033461 |
HGF-Programm | 41.01.05 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 3.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17.-18.Februar 1993 |