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Mit dem LIGA-Verfahren hergestellte Mikromembranpumpe

Rapp, R.; Kadel, K.; Schomburg, W.K.; Stern, G.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230033461
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 3.Symp.Mikrosystemtechnik, Regensburg, 17.-18.Februar 1993
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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