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Rotating microstructures made by the LIGA-process

Wallrabe, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1993
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230033463
HGF-Programm 41.01.05 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Edgar-Luescher-Seminar, 30.Januar - 4.Februar 1993
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