Durchgaengiger Einsatz der Informationstechnik in Konstruktion, Fertigung und Test von LIGA-Mikrostrukturen

Brauch, I.; Eggert, H.; Scherer, K. P.; Stiller, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1993
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230033514
HGF-Programm	41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Workshop Informationstechnik fuer Mikrosysteme, Karlsruhe, 14.Januar 1993