Durchgaengiger Einsatz der Informationstechnik in Konstruktion, Fertigung und Test von LIGA-Mikrostrukturen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033514 |
| HGF-Programm | 41.05.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Workshop Informationstechnik fuer Mikrosysteme, Karlsruhe, 14.Januar 1993 |