Deposition and erosion of materials by high-intensity cluster beams
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1993 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230033600 |
| HGF-Programm | 52.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 13th General Conf.of the Condensed Matter Division of the European Physical Society in Conjunction with Arbeitskreis Festkoerperphysik Deutsche Physikalische Gesellschaft, Regensburg, March 29 - April 2, 1993 Europhysics Conference Abstracts, 17A(1993) F 21.8 |